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台积电、联电等晶圆厂被迫陷入“缺水危机”

2021-03-19 17:09
半导体工厂不仅是用电大户,同样也是用水大户。由于岛内遭遇近半个世纪以来最大旱灾,同时民进党当局又束手无策,台积电、联电等晶圆厂被迫陷入“缺水危机”。
台媒报道截图
台媒报道截图

  据台湾《经济日报》3月19日报道,由于岛内旱情尚未缓解,情况不乐观,台当局经济部门负责人王美花要求,岛内各界均要为水情做最坏打算,部分地区工业用水节水率可能会再度调升4个百分点。

  与此同时,岛内传出,晶圆厂商台积电和联电部分厂区已执行水车少量载水。其中,台积电预订上百辆水车,将花费逾2亿元新台币(约合人民币4584万元)拉水。

  对于此事,台积电方面表示,不评论市场传言,目前生产不受影响,部分厂区执行水车少量载水主要是为增加用水弹性。目前无法提供具体水车花费金额,仍须观察后续水情状况。

台媒报道截图
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  目前,欧美各大汽车厂商正遭遇缺芯危机。而正当各国政府致函蔡英文当局,希望能协调芯片供应之时,岛内晶圆厂却被旱灾所困,而蔡当局并未出台有效应对措施,唯有“拜托妈祖祈雨”。

  根据气象统计,每年平均有3到4次台风侵袭中国台湾地区,为当地带来丰沛雨量。而2020年是台湾地区56年来首次没有台风通过的一年,多地降雨为近年最低,进而引发半个世纪以来最大旱灾。

  台媒《中国时报》指出,全台水情吃紧,民进党当局迟无反应,完全看天吃饭,直到最近实在无可回避,台经济部门主管王美花才提出科学园区和工业区“凿井取水”的措施,“实在让人傻眼”。

  眼看无法指望蔡当局,台积电、联电、世界先进等半导体厂商开始在内部倡导节约用水,非生产区域停止清洗外墙、浇灌花木植物等,以减少用水量;部分厂区展开水车载水,增加用水供给来源。

图片来源:台媒
图片来源:台媒

  众所周知,晶圆厂是用电大户。例如,2019年台积电全部厂区用电量达到143.3亿度,而同年深圳居民用电146.64亿度,二者大致相当。过去5年,台湾地区用电增长量,约有1/3是由台积电所贡献。

  但晶圆厂用水量同样不可小觑。台积电2019年度企业社会责任报告书显示,台积电在新竹丶中部与南部科学园区三大园区内的厂区每日用水量约15.6万吨,约占供应园区的主要水库每日供水量的5%。

  关于芯片生产过程中的用水问题,台积电官网介绍指出,半导体零配件的清洗成果对晶圆良率影响非常大。零配件如果表面脆弱、或者是有细微分子残留,将会成为晶圆生产过程的污染源,尤其迈入高阶制程后,一些过去没有影响良率的细微分子,也因为制程线径缩小,成为影响品质的关键。

台积电官网截图
台积电官网截图

  因此,半导体制程需要使用超纯水(Ultrapure water),其干净程度大约是自来水的1000倍。

  去年12月,台媒“TechOrange”曾在报道中称,以往晶圆厂需要用上1400到1600加仑的自来水,才可能转化为1000加仑(约合3785.4升)的超纯水。如果在一片12英寸晶圆上制造集成电路,需要使用大约2200加仑的水,包括1500加仑的超纯水,所以晶圆厂是用水大户。

  根据2015年英特尔企业的报告,该公司一年用水量高达90亿加仑,相当于7.5万个美国家庭的正常用水量。水资源充沛与否,不仅攸关晶圆制程良率,一旦没处理好甚至可能让整座晶圆厂停摆 。

  因此,岛内产业界一直在呼吁台当局尽快解决“缺水”问题,众多半导体厂商也对水资源时刻保持警觉。业内人士指出,虽然短期内缺水对芯片供应影响不大,但长期缺水可能限制岛内晶圆厂扩厂。

  然而,蔡当局除了让各大厂商“用最大力气节水”外,并未有实质性解决方法。

台媒报道截图
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