上交所官网闪现，光刻机双工件台生出产商北京华卓精科科技股分有限公司已进入受理阶段，继2015年登岸新三板后，该公司在科创板上市路途上再进一步。

 

招股注明书显现，华卓精科主营营业为光刻机双工件台、超精密测控装备整机以及症结部件等衍生产品的研发、生制造以及贩卖与妙技服务，当前属于国家鞭笞类财富。

光刻机工件台是光刻机的外围子体系之一，被视为芯片高端配备范围“皇冠上的明珠”。其主要屈服是承载晶圆遵循指定的流动轨迹做高速超精密流动并完成一系列曝光所需步履，征求上下片、瞄准、晶圆面型测量和暴光。暂且以来，寰球的光刻机被ASML、尼康和佳能纯粹操作，三者算计市场占有率高达99%，高端EUV光刻机市场更是由ASML一家独大。

招股书新闻体现，华卓精科是海外首家可自立研发并完成贸易化生打造的光刻机双工件台提供商，目前已成为上海微电子的光刻机双工件台供给商。