上交所官网显露，光刻机双工件台生制造商北京华卓精科科技股分有限公司已进入受理阶段，继2015年登岸新三板后，该公司在科创板上市道路上再进一步。

 

招股仿单表现，华卓精科主营业务为光刻机双工件台、超粗糙测控配备整机以及枢纽部件等衍生产品的研发、生出产以及发卖和技能就事，目前属于国家煽动类家制造。

光刻机工件台是光刻机的中心子琐屑之一，被视为芯片高端装备局限“皇冠上的明珠”。其首要屈服是承载晶圆遵循指定的运动轨迹做高速超毛糙运动并完成一系列曝光所需动作，包含凹凸片、瞄准、晶圆面型测量与曝光。常设以来，环球的光刻机被ASML、尼康和佳能彻底垄断，三者合计市场占有率高达99%，高端EUV光刻机市场更是由ASML一家独大。

招股书消息体现，华卓精科是国际首家可自主研发并实现贸易化生产的光刻机双工件台供给商，当前已成为上海微电子的光刻机双工件台提供商。

“作为上海微电子光刻机双工件台的供应商，公司与上海微电 子持久维持良好的互助关连，一路进行 IC 前道光刻机焦点技艺的研发和 IC 前道光刻机制造品的生产，为国产光刻机崛起奠基了根抵，占据了中国商用光刻机双工件台的首要市场份额。”招股钞缮道。

财政数据浮现，2019年、2018年与2017时日卓精科营收离别为1.21亿元（同比增速41%）、0.86亿元（同比增速58%）与0.54亿元； 2019年、2018年和2017年归母净老本分袂为0.21亿元（同比增速38%）、0.15亿元（同比增速21%）和0.13亿元。

为激劝集成电路行业的进行，我国中央财政给予大力赞成。华卓精科在招股书中提供的数据闪现，呈报期内，公司收到的当局津贴别离为6,936.83 万元、13,931.25 万元与 32,136.67 万元。