上交所官网表示，光刻机双工件台生出产商北京华卓精科科技株式会社已进入受理阶段，继2015年登岸新三板后，该公司在科创板上市途程上再进一步。

 

招股仿单透露表现，华卓精科主营业务为光刻机双工件台、超精密测控装备整机以及环节部件等衍生产品的研发、生制造以及销售与妙技就事，当前属于国家煽动类财富。

光刻机工件台是光刻机的外围子琐细之一，被视为芯片高端设备范围“皇冠上的明珠”。其主要屈从是承载晶圆依据指定的运动轨迹做高速超粗拙运动并完成一系列曝光所需动作，征求凹凸片、对准、晶圆面型测量与曝光。长久以来，全球的光刻机被ASML、尼康与佳能彻底把持，三者合计市场占有率高达99%，高端EUV光刻机市场更是由ASML一家独大。

招股手札息体现，华卓精科是海内首家可自立研发并实现商业化生产的光刻机双工件台供应商，当前已成为上海微电子的光刻机双工件台供应商。

“作为上海微电子光刻机双工件台的供给商，公司与上海微电 子且自保持良好的协作干系，共同进行 IC 前道光刻机焦点技术手段的研发和 IC 前道光刻机制造品的生出产，为国产光刻机鼓起奠定了根本，占据了中国商用光刻机双工件台的主要市场份额。”招股钞写道。

财务数据透露表现，2019年、2018年和2017工夫卓精科营收离别为1.21亿元（同比增速41%）、0.86亿元（同比增速58%）和0.54亿元； 2019年、2018年与2017年归母净老本划分为0.21亿元（同比增速38%）、0.15亿元（同比增速21%）与0.13亿元。

为反攻集成电路行业的进行，我国处所财政给以鼎力支持。华卓精科在招股书中提供的数据展示，呈文期内，公司收到的当局补贴别离为6,936.83 万元、13,931.25 万元和 32,136.67 万元。