上交所官网展现，光刻机双工件台生产商北京华卓精科科技株式会社已进入受理阶段，继2015年登陆新三板后，该公司在科创板上市行程上再进一步。

 

招股仿单展现，华卓精科主营业务为光刻机双工件台、超毛糙测控装备整机以及环节部件等衍生制作品的研发、生打造以及发卖和手艺干事，当前属于国度煽动类产业。

光刻机工件台是光刻机的焦点子细碎之一，被视为芯片高端设备畛域“皇冠上的明珠”。其首要依顺是承载晶圆按照指定的运动轨迹做高速超粗拙运动并完成一系列暴光所需行动，包含上下片、对准、晶圆面型测量与暴光。速决以来，全球的光刻机被ASML、尼康和佳能彻底独霸，三者较量争论市场占有率高达99%，高端EUV光刻机市场更是由ASML一家独大。

招股书消息表现，华卓精科是海外首家可自主研发并实现贸易化生出产的光刻机双工件台提供商，当前已成为上海微电子的光刻机双工件台供应商。

“作为上海微电子光刻机双工件台的供应商，公司与上海微电 子一时坚持良好的单干关连，一路发展 IC 前道光刻机外围技术手段的研发与 IC 前道光刻机制作品的生制作，为国打造光刻机鼓起奠定了根基，占据了中国商用光刻机双工件台的主要市场份额。”招股誊录道。

财务数据显现，2019年、2018年与2017岁月卓精科营收离别为1.21亿元（同比增速41%）、0.86亿元（同比增速58%）和0.54亿元； 2019年、2018年和2017年归母净成本分袂为0.21亿元（同比增速38%）、0.15亿元（同比增速21%）和0.13亿元。